예스티, 반도체 고압 어닐링 장비 국책과제 선정...“글로벌 반도체 기업 공급논의 진행 중”

(예스티 CI)

예스티가 국책과제를 통해 차세대 고압 어닐링 장비 개발에 착수한다. 이번 국책과제는 정부가 총 30개 사업에 286억 원의 예산을 투입해 진행하는 대규모 연구개발 사업으로, 예스티는 70억 원의 연구개발비 지원 사업 주체로 단독 선정됐다.

반도체 장비 전문기업 예스티는 산업통상자원부가 주관하는 ‘차세대 지능형반도체 기술개발 사업(반도체 제조공정 장비)’에 선정돼 ‘반도체 구조결함 개선용 중수소 고압 어닐링 장비 개발’을 추진한다고 27일 밝혔다.

예스티는 고압 어닐링 장비와 관련해 알파 테스트를 성공적으로 마치고 공정평가를 위한 베타 테스트를 준비 중이다. 이번 국책과제 선정으로 생산성 및 공정 성능 측면에서 더욱 고도화된 고압 어닐링 장비를 선제적으로 개발할 계획이다.

기존 개발 중인 예스티의 고압 어닐링 장비는 자체 보유한 설계기술을 기반으로 150~900℃ 사이의 온도와 1~30기압까지의 공정 적용이 가능하다고 알려졌다. 차세대 고압 어닐링 장비에 대한 예스티의 개발 목표는 현재 개발 중인 베타기 대비 약 50% 증가한 웨이퍼 처리량과 공정 확대성이다.

예스티는 차세대 고압 어닐링 장비에도 자체 챔버 기술을 적용할 예정으로 이를 통해 장비의 효율성을 극대화할 방침이다.

예스티 관계자는 “생산성 및 공정 성능이 향상된 차세대 고압 어닐링 장비에 대한 니즈 증가가 예상되며 정부 측면에서 이를 해결하고자 국책 과제를 시행하게 됐다”며 “현재 자체 개발 중인 고압 어닐링 장비가 경쟁사 대비 생산성이 뛰어나면서도 가격경쟁력까지 확보했다는 점에서 우수한 점수를 얻어 차세대 고압 어닐링 장비를 개발하는 이번 과제에 선정됐다”고 말했다.

예스티는 이번 과제수행과 함께 상용화를 추진 중인 고압 어닐링 장비 개발도 가속화할 계획이다. 고압 어닐링 장비 알파 테스트에서는 고객사인 국내 주요 반도체 업체가 요구하는 성능 수준 이상의 장비 성능을 검증받았다. 기존 고객사 외에도 또다른 글로벌 반도체 기업과 어닐링 장비에 대한 공급 논의를 진행 중이다.