SK하이닉스, 가상 계측 AI솔루션 ‘판옵테스 VM’ 도입ㆍ양산 적용

▲(왼쪽부터) 판옵테스 VM의 개발 방향을 설명하는 정현경 TL, 임동균 매니저, 노도형 TL, Simon (사진제공=SK하이닉스)

SK하이닉스는 자사가 투자한 산업 AI 전문 스타트업 ‘가우스랩스’가 가상 계측 AI솔루션 ‘판옵테스 VM’ 소프트웨어 제품을 출시했다고 10일 밝혔다. SK하이닉스는 지난해 12월부터 이 제품을 양산 팹(Fab)에 도입해 사용하고 있다.

판옵테스 VM은 제조 공정 결과를 센서 데이터를 활용해 예측하는 가상 계측 AI 솔루션이다. 제품명은 그리스 신화에서 눈이 백 개 달려 모든 것을 보는 거인, ‘판옵테스’에서 따왔다. 제조 공정 중 벌어지는 모든 일을 모니터링한다는 의미이다.

판옵테스 VM는 박막 증착 공정에 우선적으로 도입했다. 이 공정은 웨이퍼 위에 박막을 씌우는 과정으로 박막의 두께와 굴절률은 반도체의 품질과 직결된다. 하지만 미세한 박막에서 이를 계측하는 과정에는 많은 시간과 자원이 소요되어, 전수 계측하는 것은 어렵다.

SK하이닉스는 이를 해결하기 위해 박막 증착 공정에 판옵테스 VM을 도입했다. 분석된 데이터 결괏값을 APC와 연동해 공정 산포 평균 21.5% 개선 및 수율까지 향상되는 효과를 얻었다. 향후 SK하이닉스와 가우스랩스는 박막 증착 공정 외 다른 공정에도 횡전개 확대 진행을 검토하고 있다.

김영식 SK하이닉스 제조ㆍ기술 부사장은 “가우스랩스와의 협력을 통해 한층 지능화된 스마트팩토리 구현에 힘쓰고 있다”며 “반도체 개발 및 생산 전반에 AI 기술을 접목하여 기술 우위를 지속 확보해 나갈 것이며, 이번 판옵테스 VM 도입은 시작일 뿐”이라고 밝혔다.