"사업장 탄소배출 줄여라" 삼성전자, 대체가스 개발 속도

반도체 연구소 지속 개발… 공정가스 처리 효율도 최적화

▲삼성전자 클린룸 반도체 생산현장. 사진제공 삼성전자

삼성전자가 반도체 제조 공정에서 사용되는 공정 가스를 줄이기 위해 대체 가스 개발에 속도를 내고 있다. 탄소배출을 줄이기 위한 노력의 일환이다.

12일 삼성전자에 따르면 이 회사는 반도체 주요 공정 중에서 4대 공정에 적용되는 과불화탄소(PFCs)의 대체가스를 개발해 적용하고 있다. 2018년부터 일부 제품 공정에서 과불화탄소를 약 23% 대체했다.

앞으로 대체 가스 적용을 늘리 위한 연구개발에도 적극적이다. 삼성전자 관계자는 "반도체연구소에서 대체 가스의 연구 개발을 지속하고 있다"며 "지구 온난화지수가 낮은 공정가스를 개발해 나갈 것"이라고 밝혔다.

회사는 반도체 제조 과정에서 아예 공정가스 투입량을 줄이기 위한 노력도 이어가고 있다. 공정 시간, 공정 단계 및 공정법(Clean Recipe)을 최적화해 적용하는 방식이다.

또 공정가스 처리 시설의 효율을 향상하기 위해 설비에 투입되는 RCS(Regenerative Catalytic System) 촉매에 금속을 첨가해 공정가스 처리율을 기존 87%에서 90%로 높였다.

지난해 삼성전자는 △공정가스 처리설비 효율 개선 △고효율 설비 교체 및 제조공정 효율화 등 총 540개의 온실가스 감축 프로젝트를 통해 예상 배출량 대비 총 709만1000톤의 온실가스를 감축했다. 이는 2019년 온실가스 감축량 대비 39% 증가한 성과다.

삼성전자는 탄소배출을 줄이기 위해 사업장 내 재생에너지 사용도 확대하고 있다. 지난해까지 미국ㆍ유럽ㆍ중국 지역의 모든 사업장에서 100% 재생에너지를 사용하겠다는 계획을 발표했고, 이를 이행했다.

이 밖에 국내 수원 사업장과 기흥 사업장에 각각 1.9MW, 1.5MW 규모의 태양광 발전 설비를 설치했다. 평택사업장에도 태양광 발전 설비와 지열 발전 설비를 설치했다.

회사 관계자는 "제도와 여건이 마련된 다른 지역에서도 재생에너지 사용을 확대하기 위한 기회를 모색하고 있다"며 "국가별 재생에너지 사용 여건이 점차 개선됨에 따라 향후 재생에너지 사용량은 지속해서 증가할 것"이라고 밝혔다.