예스티, 글로벌 S사에 반도체 칠러 신규 론칭…가압 큐어 데모 장비 납품

예스티가 올해 글로벌 반도체 S사에 반도체 칠러(Chiller) 장비를 신규로 납품할 예정이다.

또한 반도체 분야 가압 큐어(Cure) 데모 장비가 S사에 납품되며, 앞으로 양산 납품이 기대된다.

5일 업계에 따르면 반도체 디스플레이 장비 및 반도체 부품을 생산하는 예스티는 주력 제품인 EDS 공정용 칠러 신규 장비를 S사에 납품할 계획이다.

또 다른 주력 장비 e퍼니스 외에 가압 큐어 부분도 S사에 올해 말 데모 장비를 공급한다. 가압 큐어 수주는 내년 중으로 예상된다.

예스티의 칠러 장비 주요 고객사는 삼성이며 S사로 납품 대상을 확대하는 상황이다. 이번에 납품하는 칠러 장비는 S사에 납품하던 기존 장비보다 스팩을 상향한 것으로 알려졌다. 칠러 장비는 프로브 스테이션 척의 온도를 초저온으로 제어해 웨이퍼 테스트를 신속하고 정확하게 제어한다.

S사로 신규 납품을 계획하는 가압 큐어는 칩(다이)을 붙인 반도체 패키지에 압력을 가해서 기포를 제거한 뒤 경화 작업을 수행한다. 해당 장비는 반도체 공정뿐만 아니라 패널레벨패키지(PLP) 공정에도 적용되기도 한다. 수주가 확정될 경우 매출 확대에도 기여할 것으로 전망된다.