필옵틱스, 미세 패턴 정밀 가공 장치 특허 취득

필옵틱스는 미세 패턴 정밀 가공 장치 관련 특허권을 취득했다고 16일 공시했다. 회사 측은 “본 발명은 스캔 렌즈에 의해 발생한 왜곡 수차를 마스크를 통해 제거한 상태로 레이저 빔을 가공 대상 기판에 조사 할 수 있다"며 “이에 따라 스캔 렌즈의 왜곡 수차에 의한 가공 정밀도 저하를 방지하고 더욱 정밀하고 정확하게 레이저 가공을 수행할 수 있는 효과가 있다”고 설명했다.