테스, 반도체 장비 관련 기술 특허 취득

입력 2018-03-06 16:17

최두선 기자

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테스는 플라즈마를 이용한 비정질 탄소막의 증착 방법에 관한 특허권을 취득했다고 6일 공시했다.

회사 측은 "특허와 관련된 기술을 반도체 장비에 적용하고 연구개발에 응용해 제품 경쟁력 강화에 활용할 계획이다"라고 말했다.

(주)테스 (095610)

대표이사: 주숭일, 이재호 (각자 대표이사)

이사구성: 이사 4명 / 사외이사 1명

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