케이씨텍, 혼합 유체 분사 기구 관련 특허 취득

입력 2006-12-27 15:39

박인혜 기자

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케이씨텍은 27일 슬릿형 노즐을 가지는 혼합 유체 분사 기구와 관련해 특허를 취득 했다고 밝혔다.

케이씨텍 관계자는 "이번 발명은 기판세정용 이류체 분사기구에 관한 것으로, 공기와 세정액을 혼합공간에서 균일하게 혼합한 후 슬릿을 통해 기판에 분사함으로써, 기판 전체를 균일하게 세정할 수 있는 효과를 가진다"고 설명했다.

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