주성엔지니어, 반도체 소자 제조장치 특허 취득

입력 2006-12-19 13:10

김정화 기자

기자 이름을 클릭하면
더 자세한 정보를
확인할 수 있어요!

북마크 되었습니다.
마이페이지에서 확인하세요.

가장작게
작게
기본
크게
가장크게

주성엔지니어링은 19일 반도체 소자 제조장치와 관련해 특허를 취득했다고 밝혔다.

주성엔지니어링 관계자는 "본 발명은 반도체소자 제조장치인 챔버 내에 설치되어, 상, 하로 이동하는 서셉터와, 서셉터의 운동에 연동하는 다수의 리프트 핀을 제공하여 챔버의 면적을 최소한 개선된 장치를 제공한다"고 설명했다.

주성엔지니어링(주) (036930)

대표이사: 황철주, 이우경, 황은석(3인 각자대표이사)

이사구성: 이사 7명 / 사외이사 4명

최근공시

[2026.03.05] 의결권대리행사권유참고서류

[2026.03.05] 주주총회소집공고

좋아요0
화나요0
슬퍼요0
추가취재 원해요0

주요 뉴스

美ㆍ이란 전쟁 위기 여전한데 국장은 왜 폭등?⋯“패닉셀 후 정상화 과정”

사상 초유의 급락세를 마주했던 국내 증시가 가파른 반등에 성공하며 숨을 돌렸다. 이란발 중동 전쟁 위기라는 본질적인 악재가 해소되지 않았음에도 나타난 이번 폭등세를 두고 전문가들은 ‘비정상의 정상화’와 ‘수급의 변화’를 원인으로 지목했다. 6일 본지 취재를 종합하면 3일과 4일 2거래일만에 코스피지수가 1100포인트 넘게 증발한 것은
당정 “중동 사태 대응 주유소 폭리 단속…무관용 원칙”

정부 합동 주유소 점검 원유 비축 208일분…단기 수급 안정 대미투자특별법 9일 특위 처리 목표 더불어민주당과 정부는 6일 ‘중동 사태’로 국제유가 상승과 금융시장 변동성이 확대되자 경제 대응 방향을 논의하기 위한 실무 협의에 나섰다. 정부는 이날부터 범부처 합동점검단을 운영해 주유소를 직접 점검하고 폭리 등 법 위반 행위에 대해 무
신학기 소비도 양극화...“비싼 가방은 백화점서” vs “소모성 학용품은 다이소에서”(르포)[K자 소비 올라탄 유통가]

가방·가구는 백화점, 학용품은 다이소 "오래 쓸 물건은 비싸도 백화점서, 소모품은 다이소에서" 불황 속 '중간 실종' 트렌드 "초고가·초저가 타깃 명확히 해야" 신학기를 맞은 학부모들의 소비 지형도가 극명하게 갈리고 있다. 오래 쓸 가방과 가구는 백화점에서 고가 브랜드를 고집하는 반면, 금방 쓰는 학용품은 다이소 등 초저가 매장에서 해
2월 물가 2.0%↑...농산물 상승세 둔화·석유류 하락 영향 [종합]

국가데이터처, '2월 소비자물가 동향' 발표...물가지수 118.40 소비자물가 상승률 지난해 9월부터 6개월 연속 2%대 유지 중동 사태에 따른 기름값 상승세 반영 안 되...3월 물가 '촉각' 2월 소비자물가 상승률이 전월(1월)과 같은 2.0%를 기록하며 안정적인 흐름을 이어갔다. 농·축·수산물 가격 상승세가 둔화하고 석유류 가격이 하락한 영향이
WBC 첫 경기 17년만 승리…다음은 한일전

한국 야구대표팀이 17년 동안 이어졌던 월드베이스볼클래식(WBC) 첫 경기 징크스를 마침내 끊어냈다. 홈런 4방이 터진 화끈한 공격력으로 체코를 꺾으며 대회를 기분 좋게 시작했다. 이제 시선은 곧바로 숙명의 한일전으로 향한다. 류지현 감독이 이끄는 한국 대표팀은 5일 일본 도쿄돔에서 열린 2026 WBC 1라운드 C조 조별리그 1차전에서 체코
'나솔사계' 현커 공개되자 '술렁'…결혼 스포일러 틀렸다

ENA·SBS Plus '나는 솔로, 그 후 사랑은 계속된다'(이하 '나솔사계') 현커(현실 커플)가 공개됐다. 5일 방송된 '나솔사계'에서는 골싱(골드+돌싱) 특집 솔로민박의 최종 선택이 그려졌다. 이날 28기 영수는 "평생 커피 타드리겠다"며 튤립을 선택했고, 튤립도 그를 선택하며 최커로 거듭났다. 22기 상철과 백합도 서로를 선택해 두 번째 커플이
'미스트롯4' 이소나, 최종 1위 '진' 됐다⋯'선' 허찬미ㆍ'미' 홍성윤

이소나가 최종 진의 자리에 올랐다. 5일 방송된 TV조선 ‘미스트롯4’에서는 4개월의 대장정 끝에 최종 순위와 함께 4대 미스트롯이 공개됐다. 이날 최종 순위는 마스터 점수 1600점에 온라인 응원 투표 400점, 실시간 문자 투표 1000점을 합산해 결정됐다. 4개월의 경연 끝에 공개된 4대 미스트롯 진의 주인공은 이소나였다. 중간평가 1위 허찬미
바이오 IPO 다시 움직인다…신약·의료기기·디지털헬스 상장 러시

신약 기업 카나프테라퓨틱스, 3월 상장 예정 업계 상장, 지난해 12월 이후 약 3개월만 의료기기‧디지털 헬스케어 기업도 준비 한동안 잠잠했던 제약·바이오 기업공개(IPO) 시장이 다시 움직이고 있다. 신약 개발 바이오텍뿐 아니라 의료기기, 디지털 헬스케어 기업까지 상장에 나서면서 시장의 관심도 다시 커지는 분위기다. 다양한 영역의 기업