주성엔지니어, 반도체 소자 제조장치 특허 취득

입력 2006-12-19 13:10

김정화 기자

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주성엔지니어링은 19일 반도체 소자 제조장치와 관련해 특허를 취득했다고 밝혔다.

주성엔지니어링 관계자는 "본 발명은 반도체소자 제조장치인 챔버 내에 설치되어, 상, 하로 이동하는 서셉터와, 서셉터의 운동에 연동하는 다수의 리프트 핀을 제공하여 챔버의 면적을 최소한 개선된 장치를 제공한다"고 설명했다.

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