유니셈, 폐가스 수처리 장치 특허 취득

유니셈은 12일 폐가스 수처리 장치와 관련해 특허를 취득했다고 밝혔다.

유니셈 관계자는 " 본 발명은 반도체 및 LCD 제조 공정상 발생하는 폐가스의 수처리 장치에 관한 것으로, 유입되는 폐가스를 2차에 걸쳐 수처리함으로써 처리요율을 향상 시키고 정제된 배출가스에 포함된 수분 등의 액체성분을 제거하여 배기덕트가 부식되는 것을 방지하는 폐가스 수처리 장치에 관한 것"이라고 설명했다.

이어 " 본 발명의 또 다른 목적은 정제된 폐가스에 잔류하는 미세 분진을 최종적으로 제거할 수 있는 폐가스 수처리 장치를 제공하는 것"이라고 덧붙였다.