케이씨텍, 기판연마방법 관련 특허 취득

입력 2006-12-08 16:32

김정화 기자

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케이씨텍은 8일 연마용 슬러리 및 이의 제조방법 및 기판연마방법과 관련해 특허를 취득 했다고 밝혔다.

케이씨텍 관계자는 "본 발명은 연마용 슬러리 및 그 제조방법에 관한 것으로, 슬러리의 원료인 파우더 제조과정에서 하소온도 및 시간을 변화시켜 연마입자의 단위 질량당 표면적을 조절함으로써, 마이크로 스크래치를 감소시키면서 높은 연마율을 유지할 수 있다"고 설명했다.

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