아이피에스, 박막증착시스템 관련 특허 취득

아이피에스는 7일 박막증착용 반응용기 및 그를 채용한 박막증착시스템과 관련해 특허를 취득했다고 밝혔다.

아이피에스 관계자는 "본 발명은 웨이퍼에 박막을 증착하기 위한 것으로서, 상세하게는 퍼지 효율이 향상된 박막증착용 반응용기 및 그를 채용한 박막증착시스템에 관한 것"이라고 설명했다.

이어 "본 발명은 반응용기(챔버)에 반응용기 내부와 연결되는 다수의 유로가 형성된 피딩블록과, 유로 각각에 대응되도록 피딩블록의 상부에 설치되는 다수의 밸브를 가지는밸브 유닛을 설치하여, 반응가스가 이송되는 연결라인을퍼지하지 않도록 함으로써 전체적인 퍼지 시간을 줄인 수 있다. 특히 반응물질이 낮은 기화온도를 갖고 있거나흡착력이 클수록 퍼지 시간을 현저히 단축할 수 있는 효과가 있다."고 덧붙였다.