코닉시스템, FPD 기판 고정장치 관련 특허 취득

코닉시스템은 6일 레이저 열처리 챔버의 스테이지에 적합한 FPD 기판 고정장치와 관련해 특허를 취득했다고 밝혔다.

코닉시스템 관계자는 "본 발명에 의하면, 크기가 작은 정전척이 여러개 복수개가 설치되기 때문에 하나의 정전척에 이상이 생기더라도 기판을 흡착하는데 큰 영향을 미치지 않으며, 따라서 정전척의 유지보수를 위해서 일부러 공정을 중단할 필요가 없게 된다. 이는 기판의 이동이 다른 공정에 비해 많은 레이저 열처리 장치에서 매우 유익한 효과이다."라고 설명했다.

또한 "고가인 정전척의 크기가 작기 때문에 교체가 용이하며 교체 비용이 저렴하다"고 덧붙였다.