아토, 다수의 공동 전극을 이용한 샤워헤드 특허 취득

입력 2006-11-30 11:59

김정화 기자

기자 이름을 클릭하면
더 자세한 정보를
확인할 수 있어요!

북마크 되었습니다.
마이페이지에서 확인하세요.

가장작게
작게
기본
크게
가장크게

아토는 30일 가스분리형의 다수의 공동 전극을 이용한 샤워헤드와 관련해 특허를 취득했다고 밝혔다.

아토 관계자는 "멀티플 블록 스택의 구조를 가지는 샤워헤드이면서 이질성의 가스라도 공통의 분사구를 구비하여 적용 가능한 공정의 다양성과 공정의 효율성을 높였으며, 다수의 공동 전극을 통하여 높은 플라즈마 밀도를 얻을 수 있는 장점이 있다"고 설명했다.

좋아요0
화나요0
슬퍼요0
추가취재 원해요0

주요 뉴스

코스피 7380선 거래 마치며 ‘칠천피 시대’ 열었다⋯26만전자ㆍ160만닉스

코스피 7000 시대가 열렸다. 이날 코스피 지수는 장중 7400선을 터치한 후 7380선에서 거래를 마쳤다. 삼성전자는 26만원을 돌파하며 TSMC에 이어 아시아에서 2번째로 '1조 달러 클럽'에 합류했다. 6일 한국거래소에 따르면 코스피 지수는 전 거래일 대비 447.57포인트(6.45%) 오른 7384.56에 장을 마감했다. 육천피를 돌파한지 단 47거래일만의
위성락 "한국 선박 피격 불확실⋯美 '프리덤 프로젝트' 중단, 참여 검토 불필요"

청와대는 6일 호르무즈 해협 한국 선박 화재와 관련해 "피격 가능성은 확실치 않다"고 밝혔다. 아울러 미국의 '프로젝트 프리덤'과 관련해서는 사실상 작전이 중단되면서 참여 검토 필요성도 없어졌다고 설명했다. 위성락 국가안보실장은 이날 청와대 춘추관에서 기자간담회를 갖고 "5월 4일 호르무즈 해협에 정박 중이던 우리 선박에서 화재가
'유미의 세포들' 11년 서사 완결…구웅·바비·순록 그리고 유미

역시 남편은 달랐다 웹툰에서 드라마로 이어지는 11년 서사의 마지막. 아름다운 마무리에 “축하해” 인사를 보내면서도 마음 한구석이 헛헛해지는데요. 바라왔던 그 장면을 담아줘 더 완벽했기에 질척거리게 되죠. 티빙(TVING) 오리지널 드라마 ‘유미의 세포들’은 동명의 네이버 웹툰 ‘유미의 세포들’이 원작인데요. 네이버 웹툰의 대표 로맨스
중동 전쟁에 세계 원유 재고 사상 최대폭 급감⋯“진짜 에너지 위기는 아직”

S&P글로벌에너지, 4월 2억 배럴 감소 추산 원유 수요, 팬데믹 이어 역대 두 번째 감소에도 전쟁에 공급 차질이 수요 감소 압도 여름 휴가철 앞두고 ‘전환점’ 임박 골드만 “정제유 재고 45일분 밖에 없어” 글로벌 원유 수요가 지난달 급감했는데도 재고가 사상 최대 폭으로 감소하는 이례적 현상이 나타났다. 통상 경기둔화나 고유가로 수요가 줄
미 국방장관 “한국 호르무즈 통항 재개에 더 나서달라”

“한국·일본·유럽ㆍ호주 역할해야” 트럼프 이어 헤그세스도 압박 피트 헤그세스 미국 국방장관이 호르무즈 해협 경색 해소 노력에 한국이 나서줄 것을 촉구했다. 5일(현지시간) 월스트리트저널(WSJ)에 따르면 헤그세스 장관은 이날 미 국방부 청사에서 이뤄진 기자회견에서 “일본이나 호주, 유럽이 (호르무즈 통항 재개에) 나서는 것을 바라는 것
4월 소비자물가 2.6%↑... 석유류 가격 급등에 21개월 만에 '최고' [종합]

국가데이터처 '4월 소비자물가 동향' 발표 국제유가 상승 물가에 타격...국제항공 15.9%·해외단체여행 11.5%↑ 데이터처 "석유 최고가격제, 석유류뿐 아니라 전체 물가 일부 완화" 지난달 소비자물가가 1년 전보다 2.6% 오르며 1년 9개월 만에 가장 큰 폭으로 뛰었다. 중동 전쟁 영향으로 석유류 물가가 22% 가까이 급등한 영향이다. 국가데이터
110조달러 상속 온다더니…美 ‘부의 대이동’, 예상보다 훨씬 늦어질 듯

베이이붐 세대 대규모 자산 상속 기대했지만 장수·고령화·호화 여행 등으로 시점 밀려나 미국 고령층이 보유한 자산이 110조달러(약 15경1800조원)에 달하지만, 젊은 세대로 전달되기까지는 예상보다 늦어질 것이라는 분석이 제기됐다. 월가에선 베이비붐 세대가 사망한 후 막대한 자산이 자녀 세대로 넘어가는 ‘위대한 부의 이전’ 기대가 컸지
77년 만의 '수출 5대 강국'⋯올해 韓 수출 '반도체 날개' 달고 日 추월 가시권

올해 1분기 한국 수출이 사상 처음으로 일본을 제치면서 1948년 정부 수립 이후 77년 동안 단 한 번도 달성하지 못했던 '수출 5대 강국' 도약의 기대감이 고조되고 있다. 이번 1분기 수출 실적은 단순한 이벤트를 넘어 연간 기준 일본을 뛰어넘는 강력한 발판이 마련된 것으로 풀이된다. 과거 2분기나 3분기에 일시적으로 일본을 앞선 적은 있었