코닉시스템, 레이저 열처리 챔버의 윈도우 모듈 특허 취득

입력 2006-11-29 15:23

김정화 기자

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코닉시스템은 29일 윈도우의 오염을 방지할 수 있는 레이저 열처리 챔버의 윈도우 모듈과 관련해 특허를 취득했다고 밝혔다.

코닉시스템 관계자는 "본 발명은 윈도우의 밑 공간에 차단가스를 공급함으로써 윈도우에 흄이 닿는 것을 막아 윈도우의 오염을 방지할 수 있다"고 설명했다.

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