에프에스티, 반도체 공정용 칠러 관련 특허 취득

입력 2006-11-28 12:53

김정화 기자

기자 이름을 클릭하면
더 자세한 정보를
확인할 수 있어요!

북마크 되었습니다.
마이페이지에서 확인하세요.

가장작게
작게
기본
크게
가장크게

에프에스티는 28일 고온용 및 저온용 열교환기를 구비한 반도체 공정용 칠러와 관련해 특허를 취득했다고 밝혔다.

에프에스티 관계자는 "저온의 유체가 유입되는 제1유동관과 고온의 유체가 유입되는 제1유동관 내부에 위치하는 제2유동관을 구비하는 열교환기를 사용하여 열교환기의 스케일을 방지하는 반도체 공정용칠러"라고 설명했다.

(주)에프에스티 (036810)

대표이사: 장경빈

이사구성: 이사 5명 / 사외이사 2명

최근공시

[2025.12.17] 주식배당결정

[2025.12.09] 주주명부폐쇄기간또는기준일설정

좋아요0
화나요0
슬퍼요0
추가취재 원해요0

주요 뉴스

쯔양·닥터프렌즈·닥터딩요와 함께하는 국내 최초 계란 축제 '에그테크코리아 2025' 개최

계란 산업 혁신과 미래 트렌드 한 눈에 12월 19~21일 3일간 양재 aT센터에서 국내 계란 식품·산업·웰니스를 아우르는 대형 계란 박람회 '에그테크코리아 2025'(EggTech Korea 2025)가 다음달 19일부터 21일까지 서울 양재 aT센터 제1전시장에서 개최된다. 이번 행사는 ‘계란·미래·K 푸드·웰니스’를 핵심 키워드로, 60개사 100부스가 참여하는 대
계주와 곗돈…계를 아시나요 [해시태그]

곗돈 탔다 정확히 그 뜻을 이해하진 못했지만 두둑한 봉투와 활짝 웃는 부모님, 그리고 온 가족이 저녁 외식에 나섰던 그 행복함은 여전히 기억하는데요. ‘곗돈’이란 참 즐거운 것이었죠. 하지만 사건·사고 기사 목록에 들어가 있는 곗돈과 계주, 계모임은 결코 ‘즐거움’ 따윈 없었는데요. ‘사기’, ‘횡령’, ‘잠적’, ‘도주’ 등과 함께였죠. 이번
'오라클 쇼크' 강타…AI 거품론 재점화

AI 산업 거품론 우려 재점화 FT "블루아울 협상에서 철수" 오라클이 추진해온 대규모 인공지능(AI) 데이터센터 프로젝트가 핵심 투자자의 이탈로 교착 상태에 빠지면서 AI 산업을 둘러싼 거품론에 대한 우려가 재점화했다. AI 붐이 주식시장을 견인하며 내년에는 기업 차입 확대 국면이 열릴 것이라는 기대가 커진 가운데, 데이터센터를 둘러싼
코스피, 하루 만에 4000선 붕괴…오라클 쇼크에 변동성 확대

오라클발 AI 투자 우려 확산…시장 변동성 확대 LG엔솔·두산 급락에 업종별 차별화 심화 코스피가 하루 만에 다시 4000선을 내주며 1% 넘게 하락 마감했다. 미국 오라클발 인공지능(AI) 투자 불확실성이 글로벌 기술주 전반으로 확산된 데다, 대형주 급락 속 외국인과 기관의 동반 매도가 지수 하락을 키웠다. 18일 코스피는 전 거래일보다 61.90
단독 아모제푸드, 연간 250만 찾는 ‘잠실야구장 F&B 운영권’ 또 따냈다

LG트윈스와 두산베어스의 홈구장인 서울 잠실야구장 식음료(F&B) 종합 운영권(컨세션)을 기존 업체인 아모제푸드가 계속 맡아 이어가게 됐다. 18일 본지 취재를 종합하면 잠실야구장 관리본부는 △아모제푸드 △아라마크 △아워홈 △풀무원푸드앤컬처를 대상으로 전일 야구장 F&B 컨세션 입찰 최종 프리젠테이션을 거친 뒤 이날 우선협상대상자로 아
서울 여의도역 신안산선 공사장서 7명 매몰⋯1명 심정지

18일 서울 여의도역 인근 신안산선 공사 현장에서 노동자 7명이 매몰되는 사고가 발생했다. 이날 경찰 등에 따르면 서울 영등포경찰서는 이날 오후 1시 22분께 지하철 5호선 여의도역 2번 출구 앞 신안산선 지하차도 공사장에서 "철근이 무너져 사람이 깔렸다"는 신고를 접수했다고 연합뉴스가 보도했다. 사고는 지하 80m 지점에서 발생했으며
용산·성동·광진⋯서울 주요 지역 아파트 가격 상승세 여전

부동산원, 12월 셋째주 주간 아파트가격 동향 경기선 성남 분당ㆍ하남 등 오름폭 확대 정부가 서울 집값 안정을 위해 고강도 대책을 연이어 내놓고 있지만, 주요 지역을 중심으로 집값 상승세는 좀처럼 꺾이지 않고 있다. 특히 마용성(마포·용산·성동) 등 한강벨트의 상승세가 가파른 가운데 성남 분당, 하남 등 경기 주요 지역들도 오름폭이 큰
순혈주의 깬 '외국인 수장'…정의선, 미래車 전환 승부수

SDF 구축 가속화 위한 정준철 사장 승진 AVP 본부 송창현 사장 후임 미정 현대제철 신임 대표에 이보룡 사장 “철저한 성과 중심 인사 기조” 현대자동차그룹이 미래 모빌리티 기업으로의 도약을 위해 연구개발(R&D) 및 핵심기술 경쟁력 강화 중심의 사장단·정기 임원임사를 단행했다. 올해 미국 관세 대응을 넘어 내년부터는 소프트웨어 중심 차