에이디피. 기판합착기 관련 특허 취득

입력 2006-11-23 13:59

김정화 기자

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에이디피엔지니어링은 23일 기판합착기와 관련해 특허를 취득했다고 밝혔다.

에이디피엔지니어링 관계자는 "본 발명에 의하면 대형의 기판을 부착 고정하기 위하여 두개 이상의 정전척을 스테이지 상에 마련하고, 상기 두개 이상의 정전척 사이에 형성되는 틈을 고기능 플라스틱 등으로 차폐함으로써, 클리닝 시 상기 틈에 낀 파티클을 깨끗하게 제거할 수 있는 효과가 있다. "고 설명했다.

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