엘오티베큠, 복합건식진공펌프 관련 특허 취득

엘오티베큠은 10일 투츠로터와 스크루 로터 복합건식진공펌프와 관련해 특허를 취득했다고 밝혔다.

엘오티베큠 관계자는 "본 특허는 전동기로 구동하는 루츠 로터와 스크루 로터 복합건식진공펌프에 있어서, 최적화된 루츠 로터가 수납되어지는 것을 특징으로 한다"고 설명했다.

이어 "반도체 및 디스플레이 제조 장치의 공정 쳄버를 진공화시키기 위한 또는 공정 쳄버에서 생성된 기체상태의 물질 및/또는 공정부산물을 외부로 배출시 높은 이송효율을 유지하고, 진공펌프에서 발생하는 진동 및 소음을 방지할 수 있는 이점이 있다"고 덧붙였다.