엘오티베큠, 복합건식진공펌프 관련 특허 취득

입력 2006-11-10 15:34

김정화 기자

기자 이름을 클릭하면
더 자세한 정보를
확인할 수 있어요!

북마크 되었습니다.
마이페이지에서 확인하세요.

가장작게
작게
기본
크게
가장크게

엘오티베큠은 10일 투츠로터와 스크루 로터 복합건식진공펌프와 관련해 특허를 취득했다고 밝혔다.

엘오티베큠 관계자는 "본 특허는 전동기로 구동하는 루츠 로터와 스크루 로터 복합건식진공펌프에 있어서, 최적화된 루츠 로터가 수납되어지는 것을 특징으로 한다"고 설명했다.

이어 "반도체 및 디스플레이 제조 장치의 공정 쳄버를 진공화시키기 위한 또는 공정 쳄버에서 생성된 기체상태의 물질 및/또는 공정부산물을 외부로 배출시 높은 이송효율을 유지하고, 진공펌프에서 발생하는 진동 및 소음을 방지할 수 있는 이점이 있다"고 덧붙였다.

좋아요0
화나요0
슬퍼요0
추가취재 원해요0

주요 뉴스

SK하이닉스 시총 1위 등극…삼성전자 25년 독주 깨졌다

SK하이닉스가 코스피 시장에서 삼성전자를 제치고 시가총액 1위 자리에 올랐다. 삼성전자가 독주해온 지 25년7개월 만의 기록이다. 22일 한국거래소에 따르면 오후 12시44분 SK하이닉스의 시가총액은 2091조687억3900만원으로 삼성전자의 2087조121억4600만원을 앞섰다. 다만 우선주를 포함하면 삼성전자가 여전히 위를 기록 중이다. SK하이닉스
술 안 마시는 20대 …"술 거절해도 눈치 안 봐" [데이터클립]

대학생 10명 중 6명은 술을 거절해도 눈치를 보지 않는 것으로 나타났다. 에브리타임을 운영하는 비누랩스가 4월 22일부터 5월 6일까지 전국 대학생 500명을 대상으로 조사한 결과, 응답자의 61.6%는 '술을 거절해도 눈치를 보지 않는다'라고 답했다. 74.0%는 술자리를 취하기보다 분위기를 즐기기 위한 목적으로 인식하고 있었다. 월평균 술자
단독 軍 후방 경계, 이르면 내년부터 '사설 경비업체'가 맡는다

국방장관 비전투분야 15만명 아웃소싱 구상 후속 美 아카데미 유사⋯명칭은 민군협력기업 사용 권장 안규백 국방장관이 지난해 10월 밝힌 ‘비전투분야 15만 명 아웃소싱’ 구상 후속조치로 군수·경계·교육 등을 민간에 위탁하는 내용의 법안이 추진되고 있다. 이르면 내년부터 사설 경비업체가 후방 부대 경계를 맡을 수 있게 된다. 병력 자원 감
단독 호남권 ‘제2 산업축’ 주목…한화·LG엔솔·LS·삼성물산 등 투자 검토

배터리·우주항공·희토류·수소 등 신사업 현장 실사ㆍ사업성 타진 광양·새만금·고흥 중심 투자 검토 한국 경제 '제2 산업축' 부상 기대 "고위급 조율 거쳐 최종 향방 결정" 정부의 지역 균형발전 드라이브와 지방자치단체의 공세적인 러브콜이 맞물리면서 대기업들의 호남권 투자 검토가 본격화되고 있다. 배터리·우주항공·희토류·수소 등 미래
4대 금융, 상반기 순익 11조원 눈앞⋯증시 훈풍에 최대 실적 전망

상반기 순익 10조8949억원 전망⋯역대 최대 실적 예약 KB금융 첫 ‘6조 클럽’ 예상⋯신한금융 5조원대 돌파 기대 증권·WM 수익 확대에 4대 금융 연간 순익 20조원 육박 국내 4대 금융지주가 올해 상반기 11조원에 육박하는 순이익을 거두며 반기 기준 역대 최대 실적을 기록할 것으로 전망된다. 은행권의 안정적인 이자이익에 더해 증시 호조에 따
폭염ㆍ폭우에 태풍까지⋯올여름 물가 부채질할 '변수'는 [이슈크래커]

본격적인 여름은 아직인데 '폭염'에 따른 고충이 세계 곳곳에서 들려옵니다. 학교 문이 닫히는가 하면 국가의 랜드마크 역시 단축 운영에 돌입하고 월드컵 거리 응원도 취소됐죠. 뜨거운 햇볕 아래 함께 함성을 지르던 축제의 장도 안전 문제 앞에서는 멈춰 설 수밖에 없었던 건데요. 더위가 일상과 행사, 이동과 소비를 흔드는 변수로 떠오른
러브버그 이번 주 후반 절정⋯집에 들어왔을 때 대처법은

러브버그로 불리는 붉은등우단털파리가 이번주 후반 절정에 이를 수 있다는 전문가 전망이 나왔다. 질병을 옮기지는 않지만 침입 외래종인 만큼 밀도를 낮추는 방제가 필요하다는 설명이다. 김동건 삼육대 교양교육원 교수 겸 환경생태연구소장은 22일 YTN 라디오 ‘슬기로운 라디오생활’에서 올해 러브버그 발생 전망과 관련해 “서울 시내와 인
미·이란, 60일 내 최종합의 로드맵 도출…호르무즈 안전통항 핫라인 구축 [종합]

“긍정적·건설적 분위기서 고무적 진전” 레바논 문제 관리 ‘갈등완화 기구’ 설치키로 이란 “원유 제재 면제·해외동결 일부 자산 해제” 트럼프 위협에 이란 측 퇴장 등 파행 위기도 미국과 이란이 1차 고위급 협상에서 60일 내 최종 합의 도출을 위한 로드맵에 합의하고 호르무즈해협의 안전한 통항을 보장하기 위한 별도 연락체계도 구축하기로