주성엔지니어링, 아크방지용 정전척 특허 취득

입력 2006-10-31 14:11

김정화 기자 kss@e-today.co.kr

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주성엔지니어링은 31일 아크방지용 정전척과 관련해 특허를 취득했다고 밝혔다.

주성엔지니어링 관계자는 "본 발명은 반도체 제조장치의 정전척에 관한 것으로 전압이 인가되는 정전척의 상승핀 홀과 냉각기체 도입공에서 아크가 발생하지 않도록 보호절연체가 둘러진 것을 특징으로 한다."고 설명했다.

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