아이피에스, USG 증착방법 관련 특허 취득

입력 2006-10-25 15:06
  • 가장작게

  • 작게

  • 기본

  • 크게

  • 가장크게

아이피에스는 25일 반도체 소자의 갭필을 이용하는 USG 증착방법과 관련해 특허를 취득했다고 밝혔다.

아이피에스 관계자는 "이번 발명은 USG를 증착하기 전에 미리 50Å이하의 두께에 유전율 30이하의 얇은 ALD 막을 증착함으로써,보이드 발생을 방지하는 것은 물론, 하지막 의존성을 배제시켜 USG 증착의 속도를 증가시키면서 또한 회로 속도 지연(RC delay)현상이 발생되는 것을 방지할 수 있는 효과가 있다"고 설명했다.

  • 좋아요0
  • 화나요0
  • 슬퍼요0
  • 추가취재 원해요0

주요 뉴스

  • 아이돌 레시피와 초대형 상품…편의점 음식의 한계 어디까지?[Z탐사대]
  • 제니와 바이럴의 '황제'가 만났다…배스 타올만 두른 전말은? [솔드아웃]
  • 단독 금감원, 가상자산거래소에 감독분담금 청구한다
  • "중국이 중국했다" 손흥민·이강인 향한 좁은 속내…합성사진 논란
  • 쿠팡 "'평생 먹은 것 중 제일 맛없다'는 직원 리뷰가 조작?" 공정위에 반박
  • “동해 석유=MB 자원외교?”...野, 의심의 눈초리
  • “고객의 시간을 점유하라”...쉬지 않고 뻗어나가는 ‘뉴월드’ [정용진號 출범 100일]
  • 집단 휴진 거부한 아동병원, 의협 회장 맹비난 "'폐렴끼' 만든 사람들"
  • 오늘의 상승종목

  • 06.14 장종료

실시간 암호화폐 시세

  • 종목
  • 현재가(원)
  • 변동률
    • 비트코인
    • 93,664,000
    • -0.52%
    • 이더리움
    • 5,050,000
    • +1.41%
    • 비트코인 캐시
    • 609,000
    • +1.84%
    • 리플
    • 693
    • +2.36%
    • 솔라나
    • 205,900
    • +0.59%
    • 에이다
    • 586
    • -0.34%
    • 이오스
    • 934
    • +0.76%
    • 트론
    • 164
    • -0.61%
    • 스텔라루멘
    • 139
    • +0.72%
    • 비트코인에스브이
    • 70,350
    • +0.14%
    • 체인링크
    • 21,040
    • +0.24%
    • 샌드박스
    • 542
    • +0.37%
* 24시간 변동률 기준