아이피에스, ALD 박막 증착 방법 특허취득

입력 2006-10-25 14:57

박인혜 기자

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아이피에스는 25일 ALD 박막 증착 방법과 관련해 특허를 취득했다고 밝혔다.

아이피에스 관계자는 "이번 발명은 제1피딩->제1퍼지->제2피딩-> 제2퍼지로 구성되는 싸이클을 반복하여 기판 상에 박막을 증착하는ALD 박막 증착 방법에 관한 것으로서, 한 싸이클과 다음 싸이클 사이에 이전 싸이클 동안 유지되는 압력과는다른 압력으로 수행되는 프리압력변화단계를 포함하여 콘택홀 내부의 압력을 조절함으로써, 요구되는 조건에 따라 콘택트 홀 주위의 스탭 커버리지의 특성을 조절할수 있다"고 설명했다.

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