에이디피,평판표시 소자제조장치관련 특허 취득

입력 2006-10-19 11:27

김정화 기자

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에이디피엔지니어링은 19일 평판표시소자제조장치의 공정챔버에 구비된 가스이동로 조절식 배플과 관련해 특허를 취득했다고 밝혔다.

에이디피엔지니어링 관계자는 "본 발명에 의하면 배플 내부와 가스이동로 변경으로 가스배출이 속도가 균일하게 이루어지는 특징이 있다."고 설명했다.

인베니아(주) (079950)

대표이사: 구동범

이사구성: 이사 5명 / 사외이사 3명

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