코닉시스템, 로봇 아암 블레이드 특허취득

입력 2006-10-17 14:32

박인혜 기자

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코닉시스템은 17일 진공환경에서 사용하기에 적합한 로봇 아암 블레이드와 관련해 특허를 취득했다고 밝혔다.

코닉시스템 관계자는 "이번 발명은 블레이드 판과 유전막 사이에 개재되는 도선을 구비하는 것을 특징으로 한다"고 설명했다.

이어 " 유리 기판이 정전기력에 의해 블레이드에 강하게 흡착 고정되기 때문에 진공챔버 내에서 로봇 아암을 빠른 속도로 접었다 폈다 하여도 상기 유리 기판이 블레이드에서 움직이거나 이탈되지 않는다"고 덧붙였다.

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