테스, 박막증착장치 관련 특허권 취득

입력 2014-11-19 15:45

조승예 기자

기자 이름을 클릭하면
더 자세한 정보를
확인할 수 있어요!

북마크 되었습니다.
마이페이지에서 확인하세요.

구글 선호매체 추가

가장작게
작게
기본
크게
가장크게

테스는 박막증착장치에 관한 특허권을 취득했다고 19일 공시했다.

이 특허는 반도체 ALD(Atomic layer deposition; 원자층 증착)장비에 적용되는 기술이다.

회사 측은 "신제품 개발 적용 및 기존 제품 경쟁력 강화에 활용할 계획"이라고 밝혔다.

#테스 #박막증착장치 #특허권 #테스

좋아요0
화나요0
슬퍼요0
추가취재 원해요0

주요 뉴스

22일 만에 다시 문 연 홈플러스…정상화 바쁜데 재고 없어 ‘발동동’[가보니]

서울월드컵경기장점 67명 출근해 재개점 준비 신선식품 등 순차 입고…13일 정식 개장 목표 22일 만에 다시 문을 연 홈플러스 서울월드컵경기장점. 7일 오전부터 직원들은 비어 있는 진열대를 채우느라 바쁘게 움직였다. 계란과 우유, 과일 같은 신선식품이 차근차근 자리를 잡기 시작했지만, 매장 곳곳엔 여전히 텅 빈 매대가 먼저 눈에 들어왔
입추매직 '불발', 처서매직은 올까요? [해시태그]

“와 이제 시원한 거 같아” 단체 ‘뇌손상’의 단계까지 온 지독하고 지독한 폭염입니다. 낮 기온이 37~39도를 찍는 극한 더위 속 30도대 초반이 상대적으로 선선하게 느껴질 지경인데요. 이번 폭염의 중심은 처음 영남을 비롯한 동쪽 지역에 있었습니다. 7월 말에는 서풍과 북서풍이 산맥을 넘어 영남 쪽으로 내려오면서 뜨겁고 건조해졌는데요.
콘서트 갈 때 응원봉만?⋯'최애' 위한 필수품 등장이오! [솔드아웃]

지금 화제 되는 패션·뷰티 트렌드를 소개합니다. 자신의 취향, 가치관과 유사하거나 인기 있는 인물 혹은 콘텐츠를 따라 제품을 사는 '디토(Ditto) 소비'가 자리 잡은 오늘, 잘파세대(Z세대와 알파세대의 합성어)의 눈길이 쏠린 곳은 어디일까요? 아이돌 콘서트 시작을 기다리는 공연장. 응원봉만큼이나 눈에 띄는 게 있습니다. 공연이 시작되기
서울시, 정부에 정비사업 규제 완화 '건의'⋯국토부 "협의 중" 입장만 [종합]

명노준 주택실장, 재개발·재건축 주택공급 부족 원인진단 및 대책 관련 브리핑 서울시가 재개발·재건축을 통한 주택 공급 확대 방침을 거듭 강조한 가운데 정비사업으로 인한 '이주 대란' 우려와 정부와의 정책 엇박자 논란에 대해 정면 반박하고 나섰다. 명노준 서울시 주택실장은 2031년까지 31만 가구 착공 목표에 차질이 없다는 입장이나,
서울 40도 찍더니 하남 40.8도·광양 40.2도…전국 '펄펄'

서울ㆍ노원 40.2도 이어 하남 40.8도·광양 40.2도 전국 대부분 폭염특보…체감온도도 곳곳 38도 넘어 8일 동해안 비 시작·내륙 소나기…무더위·열대야 지속 서울 노원구의 기온이 40도를 넘어선 데 이어 경기 하남과 전남 광양에서도 40도를 웃도는 기온이 관측됐다. 전국 대부분 지역에 폭염특보가 내려진 가운데 곳곳에서 39~40도 안팎의 극심한
넥스트레이드, 12일부터 프리마켓 상·하한가 주문 한시 금지

대체거래소(ATS) 넥스트레이드가 프리마켓에서 발생하는 가격 왜곡 현상을 방지하기 위해 이달 12일부터 프리마켓 내 상·하한가 주문을 한시적으로 금지하기로 했다. 7일 넥스트레이드는 최근 프리마켓에서 발생한 소량의 상·하한가 체결 사례와 관련해 설명자료를 내고, 주문 오류로 인한 가격 급등락을 최소화하기 위한 비상 대응방안을 발표
9월 입주 디에이치방배 잔금대출 풀린다…은행권 3000억 공급

KB·신한·하나 각각 1000억 배정…우리·농협도 취급 검토 당국 실수요자 공급 주문…분양가·필요자금 반영해 한도 조정 9월 입주를 앞둔 서울 서초구 ‘디에이치방배’에 주요 은행들이 3000억원 규모의 잔금대출을 공급한다. 우리은행과 NH농협은행도 대출 취급을 검토하고 있어 향후 공급 규모가 늘어날 전망이다. 7일 금융권에 따르면 KB국민은행
단독 논란의 'Busan is Good'…8억 도시브랜드, 용산 대통령실 CI 업체가 수행

박형준 전 부산시장 재임 당시 추진된 부산시 도시브랜드 ‘Busan is Good’ 개발 사업의 수행기관이 윤석열 정부 용산 대통령실 상징체계(CI) 개발에 참여했던 디자인 전문업체 피앤(P&)인 것으로 확인됐다. 8억 원이 투입된 부산 도시브랜드 사업이 공개 이후 시민 공감 부족과 디자인 정체성 논란에 휩싸였던 만큼, 사업 선정 과정과 결과물에