테스, 플라즈마 반응 장치 관련 특허 취득

입력 2014-05-21 14:26

하장청 기자

기자 이름을 클릭하면
더 자세한 정보를
확인할 수 있어요!

북마크 되었습니다.
마이페이지에서 확인하세요.

가장작게
작게
기본
크게
가장크게

테스는 인젝터 모듈 및 이를 사용하는 플라즈마 반응 장치의 특허권을 취득했다고 21일 공시했다.

회사측은 "챔버 내부로 유입되는 공정가스가 원하지 않는 곳으로 유동하는 것이 저지되어, 균일한 박막 형성과 공정가스의 불필요한 소모를 줄일 수 있다"고 밝혔다.

#테스 #테스

(주)테스 (095610)

대표이사: 주숭일, 이재호 (각자 대표이사)

이사구성: 이사 4명 / 사외이사 1명

최근공시

[2025.12.17] 타법인주식및출자증권취득결정

[2025.12.15] 주주명부폐쇄기간또는기준일설정

좋아요0
화나요0
슬퍼요0
추가취재 원해요0

주요 뉴스

‘계란밥·라면도 한번에 호로록” 쯔양 ‘먹방’에 와~탄성⋯국내 최초 계란박람회 후끈[2025 에그테크]

‘에그테크코리아 2025’ 공식 앰배서더 쯔양, 행사 참석 부스 둘러보며 시식·체험⋯“취향 맞는 계란 찾는 재미도” 19~21일 서울 aT센터서 행사 진행⋯60여개 기업 참여 국내 대표 먹방 유튜버 ‘쯔양’이 국내 최초 계란전문 박람회 ‘에그테크 코리아 2025’를 찾았다. 쯔양은 이번 행사의 공식 앰배서더로 국내 최고 인기 인플루언서답게, 그가 가는
대만 TSMC, 美 2공장서 2027년부터 3나노 양산 추진

애리조나 2공장 건설 예상보다 빨라 애초 양산시점보다 약 1년 앞당겨져 세계 최대 파운드리(반도체 수탁생산) 기업 대만 TSMC가 2027년께 미국 애리조나 2공장에서 3나노(㎚·10억분의 1ｍ) 공정 제품을 양산한다. 19일 연합뉴스와 중국시보 등 대만언론에 따르면 웨이저자 TSMC 회장은 지난 10월 실적설명회에서 공개한 애리조나 2공장 건설 및
李 대통령 “韓 생리대 가격 비싸”…공정위에 조사 지시

이재명 대통령이 주병기 공정거래위원장에게 생리대 가격에 대해 조사하라고 지시했다. 이 대통령은 19일 정부서울청사에서 열린 공정위 업무보고에서 “우리나라 생리대가 다른 나라와 비교해 엄청 비싸다고 한다”고 지적했다. 이 대통령은 “이게 독과점이어서 그런지, 다른 나라보다 약 39%가 비싸다고 한다”며 “뭐 그렇게 비싼지 모르겠다”고
황재균 은퇴 [공식입장]

프로야구 kt 위즈의 베테랑 내야수 황재균(38)이 20년간의 선수 생활에 마침표를 찍는다. kt는 19일 “황재균이 2025시즌을 끝으로 현역 은퇴를 결정했다”고 공식 발표했다. 최근 롯데 자이언츠 정훈이 은퇴를 선언한 데 이어 황재균까지 그라운드를 떠나면서 현대 유니콘스 출신 선수의 계보도 사실상 막을 내리게 됐다. 황재균은 2006년 현대
일본은행, 기준금리 0.25%p 인상⋯0.75%로 30년래 최고치

시장 예상에 인상률 부합 점진적 인상 조치 이어가 일본 중앙은행인 일본은행이 올해 마지막 금융정책결정회의에서 기준금리를 0.25%포인트(p) 인상했다. 19일 니혼게이자이신문에 따르면 일본은행은 전날부터 이틀간 열리는 금융정책결정회의에서 기준금리를 0.75%로 0.25%p 상향 조정했다. 0.75%는 1995년 9월 이후 30년 3개월 만에 가장 높은
'신의 아그네스' 등 출연한 1세대 연극배우 윤석화 별세⋯향년 69세

국민에게 감동적인 연기를 선보인 1세대 연극배우 윤석화 씨가 별세했다. 향년 69세. 19일 연극계에 따르면, 고인은 이날 오전 10시께 서울 신촌세브란스병원에서 가족들이 지켜보는 가운데 세상을 떠났다. 1956년 서울에서 태어난 고인은 1975년 연극 '꿀맛'으로 데뷔했다. '신의 아그네스', '햄릿', '딸에게 보내는 편지' 등 여러 작품에서 인
한화오션, 2.6兆 수주 잭팟⋯LNG운반선 7척 계약

한화오션은 유럽 지역 선주와 2조5891억 원 규모 액화천연가스(LNG) 운반선 7척 수주 계약을 체결했다고 19일 공시했다. 계약금액은 지난해 말 연결기준 매출의 24%에 해당하는 규모다. 계약기간은 2029년 6월 30일까지다. LNG 운반선은 대표적인 고수익 선박으로, 7척 모두 동일 사양으로 건조할 예정이다. 이에 구매, 생산, 설계 등에서 효율
입짧은 햇님도 활동 중단

먹방 크리에이터 입짧은햇님(본명 김미경)이 이른바 ‘주사 이모’로 불린 A씨 관련 의혹이 불거진 뒤 “모든 프로그램에서 하차하고 예정된 모든 활동을 중단하겠다”고 밝혔다. 같은 논란으로 방송인 박나래와 그룹 샤이니 키가 이미 활동을 멈춘 상황에서 tvN ‘놀라운 토요일’(이하 ‘놀토’) 고정 출연자 3명이 잇따라 하차했다. 논란은 18일 디스