로보스타, 웨이퍼 이송장비 및 이송방법 특허권 취득

수정 2012-10-09 14:25

입력 2012-10-09 14:25

김혜진 기자

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로보스타는 웨이퍼 이송장비 및 이송방법 관련 특허권을 취득했다고 9일 공시했다.

회사 측은 본 특허권과 관련 "웨이퍼의 위치를 인식하고 흡착하여 정해진 위치로 정확하게 정렬시킬 뿐만 아니라 웨이퍼들을 각각의 위치에 정렬시키는 과정에서 얇은 웨이퍼가 손상 또는 파손되는 것을 방지한다"고 밝혔다.

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