예스티 "소송 중인 특허심판 승소…고압어닐링장비 시장 진입 초읽기"

입력 2025-04-25 15:51

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예스티는 고압어닐링장비의 잠금장치 관련 HPSP의 특허 제1553027호에 대한 소극적권리범위확인심판에서 승소했다고 25일 밝혔다.

이날 회사 측에 따르면 특허심판원은 예스티가 청구한 2건의 소극적권리범위확인심판에 대해 인용해, 예스티의 잠금장치 구조가 HPSP의 특허와 다르다고 판정했다.

예스티가 이번에 HPSP의 특허와 다르다는 판정을 받은 2가지 구조 중 하나는  HPSP의 특허와는 달리 외부회전체결링이 아예 없고, 외부도어 자체가 회전하는 방식이라고 한다. 다른 하나는 외부회전체결링이 없을 뿐만 아니라 도어가 2개가 아닌 하나인 원도어 구조로 2가지 구조 모두 HPSP의 특허와 다르다는 게 이번 판결을 통해 이를 확인받았다고 회사 측은 전했다.

예스티는 고압어닐링장비 개발 초기부터 예스티의 고압기술력을 바탕으로 장비를 개발하고 HPSP의 특허에 대해서는 회피설계를 통해 특허 침해소지를 사전에 차단했다고 강조했다. 이번 소극심판 승소는 고객사 및 시장이 예스티의 독자기술력 및 특허대응능력을 인식하는 계기가 될 것이며, 고압어닐링장비 시장 진입 초읽기에 들어갔다고 설명했다.

예스티는 이번에 소극적권리범위심판을 제기한 2가지 잠금장치 구조의 경우 이미 제작을 완료했거나 즉시 제작이 가능하며, 2가지 구조 이외에도 추가로 2가지 구조의 개발을 완료한 상태다. 고객사의 요구사항 및 제품의 업그레이드 필요성에 따라 각각의 구조를 적용한 제품을 고객에게 납품할 계획이다.

예스티는 현재 글로벌 반도체회사들과 양산전 프로덕트 웨이퍼(PW) 테스트를 진행 중이며 고객사에 장비를 반입해 진행하는 양산테스트를 준비 중이다. 이번 심결을 계기로 고객사들과의 양산테스트를 빠르게 진행하고 연내에 가시적인 성과를 거둘수 있을 것으로 예상했다.

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