탑엔지니어링, 기판 열처리 장치 관련 특허

입력 2020-05-26 13:35

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탑엔지니어링은 분할형 챔버를 구비하는 기판 열처리 장치 관련 특허를 취득했다고 26일 공시했다. 회사 측은 "부품의 유지 보수 또는 교체를 용이하게 하는 분할형 챔버를 구비하는 기판 열처리 장치"라며 "FPD제조 장비의 경쟁력 강화로 활용할 것"이라고 말했다.

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