국일그래핀, 열분해 증착 그래핀 합성 특허 출원

국일제지의 자회사인 국일그래핀이 ‘열분해(Thermal CVD) 증착원 및 분급장치를 포함한 저온 무전사 박막 그래핀 및 그 제조방법’으로 특허를 출원했다고 2일 밝혔다.

이번 특허는 티타늄을 이용해 낮은 온도에서 넓은 면적의 그래핀을 고품질로 합성하는 기존 그래핀 제조방법의 단점을 보완한 새로운 무결점 개념의 대면적 그래핀을 직접적으로 성장시키는 제조기술이다.

특히 Roll to Roll 설비에서 그래핀 합성시 사용되는 그래핀 박막의 증착원을 기존의 플라즈마 방식에 열 분해 방법을 적용한다. 이 방식은 기존 플라즈마 증착원에 추가 사용돼 그래핀 합성이 보다 용이 할 것으로 보고 있다.

회사 관계자는 “Roll to Roll에서 저온 무전사 박막그래핀 합성시 기존의 플라즈마 증착원에 Thermal CVD 증착원을 추가하는 방식”이라며 “그래핀 합성시 발생될 수 있는 다양한 크기의 그래핀 입자, 미반응 물질, 파티클 등을 분극화 해 그래핀 입자를 선별함과 동시에 박막의 물성 향상 및 증착 속도를 제어할 수 있는 이점이 있다”고 설명했다.

한편 국일그래핀은 지난달 ‘대면적 그래핀 증착방법 및 그래핀 연속 증착장치’, ‘다중 챔버를 활용한 그래핀 연속 제조장치’ 특허를 출원하고 성남피엠(PM, Pilot Manufacturing) 센터 업무를 개시하는 등 그래핀 연구개발에 집중하고 있다.