소디프신소재, 모노실란 정제법 특허 취득

입력 2008-01-14 11:16

임화양 기자

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소디프신소재는 모노실란 중에 포함되는 미량 불순물을 저비용, 고효율로 제거해 초고순도의 모노실란을 제조하는 방법에 대한 특허를 취득했다고 14일 밝혔다.

회사 측은 이번 특허를 통해 다양한 소자의 박막 원료로 사용되는 초고순도 모노실란 생산에 유용하게 활용할 것이라고 덧붙였다.

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